硅片超聲波清洗機 概述：

該設(shè)備用于晶圓片擴散、蒸發(fā)、CAV生產(chǎn)前的清洗處理。該機共有六種清洗方式可供選擇，清洗程序為純水清洗、膽堿清洗、冷熱純水沖洗、酸洗（HF）、純水清洗。其工藝性能指標及可靠性*達到進口同類設(shè)備水平，但價格、售后服務(wù)、備品備件的供給等是進口設(shè)備*的。

 

硅片超聲波清洗機 主要特點：

·采用進口PP板制作。

·適用2-6寸硅片清洗。

·超聲功率強勁，性能穩(wěn)定。

·超聲波采用效率高發(fā)生器，功率可調(diào)。

·采用高頻超聲波頻率。

·慢拉脫水、循環(huán)熱風(fēng)干燥方式，替換傳統(tǒng)的溶劑脫水，既安全又環(huán)保。

·設(shè)有循環(huán)過濾系統(tǒng)。

·多槽超聲波清洗工藝，保證清洗效果。

硅片超聲波清洗機 的超聲波強的洗凈作用，是以超過人類聽覺聲頻以上的波動在液體中傳導(dǎo)。當聲波在洗劑中傳播時，由于聲波是一種傳播，縱波推動介質(zhì)的作用會使液體中壓力變化而產(chǎn)生無數(shù)微小真空泡，稱之為“空穴效應(yīng)”。

當氣泡受氣壓爆破時，會產(chǎn)生強大的沖擊能，可將固著在物件死角內(nèi)的污垢打散，并增強洗凈的洗凈效果，由于超聲波偏離高波長短，穿透力強，因此對有隱蔽細縫或復(fù)雜結(jié)構(gòu)的清洗物，可以達到良好的洗凈效果。